型番 LC-1000 LC-mini LC-R
処理能力(※1) MAX180個/分 MAX60個/分 MAX40個/分
リーク付きはMAX30個/分
対象サイズ(※2) ~Φ100mm
×H100mm
~Φ50mm
×H50mm
Φ50mm~100mm
H60mm~220mm



検査部位 検査項目 欠陥限度
天面・側面 不透明異物、
汚れ
0.2mm角以上
底面 0.2mm角以上 - 0.5mm角以上
(オプション)
内底面 0.2mm角以上 - -
内側面 0.3mm角以上
(オプション)
- -
リーク検査 - - 0.5mm角以上
(オプション)
撮像カメラ 側面4台、天面1台、内底面1台
(オプション内側面1台)
側面4台、天面1台 側面1台、天面1台
(オプション底面1台)
装置外径 W1800×D700×H1800mm W800×D750×H2000mm W800×D750×H2000mm
装置重量 約450㎏ 約350㎏ 約400㎏
電源  三相 AC200V